化学锗提炼工艺-「锗提纯的工艺」

admin 铂铑铱钌 2021-11-23 09:16 5
锗提纯的工艺作为可以有利地用于形成含有锑和或化学锗通过使用本发明的前体,化学锗提炼工艺可以在沉积操作中添加其他共反应物物质,以在组成上改性所得膜。实例包括使用共反应剂对膜进行组成改性以掺入氧和或氮,例如使用非常少量的和。在其他实施例中,可以采用原子层沉积和快速气相沉积技术来沉积含有锑和或锗使用本发明的前体。


提纯例如,可以使用采用快速表面催化气相沉积,其中第一前体蒸气与基材接触以形成前体的饱和表面层,随后暴露于第二前体蒸气,然后暴露于第三前体蒸气,在各个前体蒸气接触步骤之间进行惰性气体吹扫,提炼工艺其中第一第二和第三前体中的至少一个包含锑和或化学锗本发明的前体,并且其中前体接触和介入清提纯洗步骤重复进行,直到达到预定厚度的沉积膜材料。更一般地,提炼工艺考虑了多种锑和化学锗可用于形成相应的含和薄膜的配合物化学锗提炼工艺。因此,本发明的前体络合物和组合物在具体用途方面可以变化,并且可以包含组成或基本上由特定金属源试剂,或此类特定试剂和其他前体物质组成br/>


。此外,在一些应用中可能需要使用本发明的多种前体物种,彼此组合和或与其他前体物种一起。本发明还考虑了特定实施例中前体复合物的特定结构定义和或规格,并且在特定实施例中排除了特定部分配体和元素种类,在均质三二烷基酰胺锑配合物和四二烷基酰胺锗在本发明的配合物中,提炼工艺烷基取代基可以不包括甲基。提纯提炼工艺在本发明的某些实施方案中可以排除四烷基氨基锗。作为另一个例子,在本发明的化学锗基和甲硅烷基锑配合物中,例如可以排除三甲基锗基和三甲基甲硅烷基物质。因此,提纯应当理解,本发明允许在本发明的各种具体实施方案中限定复合物和复合物的组成特征,锗提纯的工艺以用于识别作为本发明在其某些应用中的优选实施方式的前体复合物及其类别。br/>


在描述乙基甲基氨基三异丙基锗烷的合成以显示制备说明性的细节锗本发明的前身。二锗烷和应变环锗的前体锗含薄膜。以前受雇锗用于形成的前体,提炼工艺例如锗烷锗锑碲薄膜用于相变存储器件需要非常高的温度沉积条件。提纯这又使得难以形成纯相材料。本发明克服了提供在环境条件下具有高蒸气压的前体方面的这一缺陷,化学锗提炼工艺该前体可用于沉积锗在低于的温度下含有薄锗提纯的工艺。

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